第268章 搬空 (第2/2页)

干法刻蚀车间。日立M206A微波等离子单片式RIE干法刻蚀机，全球首发的设备，是实现芯片精密刻蚀的核心。旁边还有东京电子批量式反应离子腐蚀刻蚀集群，数十台高端刻蚀设备排列整齐，像等待检阅的士兵。王建新一台不落地全部收走，连同配套的真空系统、气体供给系统也一并收入空间。车间里一下子空了，只剩下墙上的操作面板和地上的电缆槽。
　　
　　热工艺与掺杂区域。东京电子立式全自动高温扩散炉，炉管还散发着余温。日新电子中速大束流离子注入机，体积庞大，管线复杂。高压超纯氧化生长炉，炉门紧闭，透过观察窗能看见里面的红光。这些垄断全球的掺杂与热处理设备，一台台有序地被收入空间，全程保持着设备原本的精密状态，没有一丝磕碰。
　　
　　薄膜沉积车间。多腔体等离子PECVD化学气相沉积机，磁控溅射金属镀膜机，超高洁净气相外延炉。整套完整的薄膜生长与沉积设备，支撑着芯片内部电路与薄膜结构的制造。王建新神识一扫，全部收走。
　　
　　再往厂区深处走，是高端检测与封测区域。日立、岛津的超高分辨率SEM扫描电镜，晶圆全自动AOI缺陷检测仪，高精度探针台，全自动金丝球焊封装生产线，切筋成型智能设备。从芯片检测到封装测试的全套高端设备，没有一台被落下。王建新一路走一路收，脚步不快不慢，像是在逛商场。
　　
　　出了生产区，他转向厂区北侧。
　　
　　那里是顶级半导体科研实验室，汇聚了全日本最前沿的科研设备。电子束直写曝光机，X射线光刻研发样机，超高精度晶圆参数分析仪，单晶材料研发设备，芯片工艺研发试验台。仪器一台接一台，桌面上摊着各种图纸和记录本。
　　
　　靠墙是一排排铁皮柜，里面塞满了核心技术图纸、研发数据硬盘、工艺参数手册。王建新打开一个柜子，随手翻了翻，厚厚的图纸，密密麻麻的数字，他看不懂，但知道这些东西比生产设备更珍贵。
　　
　　他把整个实验室打包了。设备、仪器、图纸、硬盘、手册，连同实验室里的超算中心、科研仪器，全部被席卷一空。连实验台上的笔记本都没留下，笔还插在笔记本里，一起收走了。
　　
　　出了实验室，王建新又转了几个地方。超纯水中央供给系统，管道纵横交错，储水罐有几层楼高。特种超高纯电子气体存储输送系统，一排排钢瓶码在架子上，贴着各种标签。全厂区智能工业总线中控系统，操作台上有几十个屏幕，显示着各个车间的运行状态。信越8英寸超高纯单晶硅原材料仓库，架子上码着一摞摞晶圆盒。精密零部件备用库房，各种型号的备件分类存放。
　　
　　所有与半导体生产、科研相关的配套设施、原材料、备用设备，统统被空间力量笼罩，一寸不剩地收入空间。
　　
　　从光刻、刻蚀、掺杂、薄膜沉积，到涂胶显影、检测封测，从量产级全自动生产线，到科研级前沿试验设备，再到核心技术资料、高端原材料、全套配套系统。整座东芝顶级半导体工厂，在短短几十分钟内，被彻底搬空。
　　
　　王建新站在厂区中间，环顾四周。原本灯火通明、设备轰鸣的厂区，现在变得空空荡荡。只剩下空旷的厂房、冰冷的地面，以及散落的零星杂物。那些价值连城的高科技设备、生产线、实验室、图纸、原材料，尽数消失无踪，仿佛从未存在过一般。
　　
　　他想起那些被销毁的军舰，想起那些沉入海底的钢铁残骸和尸骸。军舰是他们的爪牙，半导体是他们的心脏。爪牙断了还能再长，心脏没了，就彻底完了。
　　
　　“行了，够用了。”王建新自言自语。
　　
　　他最后看了一眼那几栋空荡荡的厂房，身形一闪，消失在夜空中。
　　
　　脚下，整个半导体行业的“心脏”，已经停止了跳动。灭掉他们的安保和工人很轻松，搬空他们的设备也很轻松。但明天天亮以后，这个国家会变成什么样子，他懒得想。他只知道，那些设备运回国内，那些图纸和技术资料，够以后自己的科研人员研究好一阵子了。
　　
　　他踩着飞剑，往西飞去。空间里的物资又多了一大堆，光刻机、刻蚀机、离子注入机、扩散炉、检测仪、超算中心，堆在空间的一角，像一座钢铁森林。那些晶圆盒一摞一摞的，码得整整齐齐。图纸和硬盘装在铁皮柜子里，摞在角落里。
　　
　　他看着那些东西，心里只有一个字：爽。